本發(fā)明屬于光電材料新能源領域,特別涉及TiO2/WO3復合薄膜的制備方法。首先使用雙極脈沖磁控濺射在基底上濺射TiO2薄膜,然后在濺射好的TiO2薄膜上二次沉積WO3薄膜,將獲得的復合薄膜進行退火處理即得TiO2/WO3復合薄膜。本發(fā)明采用雙極脈沖磁控濺射法,制備靈活、可控性好,有望在工業(yè)中形成規(guī)?;a。
聲明:
“TiO2/WO3復合薄膜的制備方法及所得薄膜的應用” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)