本發(fā)明提供一種鍵合剝離后的鈮酸鋰晶圓的修復(fù)方法和鈮酸鋰晶圓。修復(fù)方法包括對(duì)鍵合剝離后的原料鈮酸鋰晶圓加熱退火;對(duì)所述原料鈮酸鋰晶圓的剝離面進(jìn)行拋光處理,拋光深度等于或大于離子注入深度蔓延范圍的一半。該修復(fù)方法能夠?qū)︽I合剝離后的鈮酸鋰晶圓進(jìn)行修復(fù),從而使得廢棄的鈮酸鋰晶圓得到再次利用,避免浪費(fèi)。
聲明:
“鍵合剝離后的鈮酸鋰晶圓的修復(fù)方法和鈮酸鋰晶圓” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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