一種鉭酸鋰晶體基片的黑化處理方法,在化學(xué)還原氣氛中,將金屬片與鉭酸鋰晶體基片之表面進(jìn)行粗化后以接觸方式交替堆疊,置于低于居里溫度的環(huán)境中,對鉭酸鋰晶體基片進(jìn)行還原處理,使鉭酸鋰晶體基片由白色或淡黃色轉(zhuǎn)變?yōu)橛猩煌该骰?,依然保持其原有之壓電材料特性。鉭酸鋰晶體基片經(jīng)還原處理可降低其體電阻率,可改善聲表面波濾波器(SAW?filter)制造過程中因溫度差異引起熱釋電效應(yīng)產(chǎn)生的放電現(xiàn)象,并提高叉指電極線條于光刻工藝的精度,有助于提升SAW器件制作的成品率降低生產(chǎn)成本。
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