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鉭酸鋰晶體基片的黑化處理方法

886   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 20:57:25
一種鉭酸鋰晶體基片的黑化處理方法,在化學(xué)還原氣氛中,將金屬片與鉭酸鋰晶體基片之表面進(jìn)行粗化后以接觸方式交替堆疊,置于低于居里溫度的環(huán)境中,對鉭酸鋰晶體基片進(jìn)行還原處理,使鉭酸鋰晶體基片由白色或淡黃色轉(zhuǎn)變?yōu)橛猩煌该骰?,依然保持其原有之壓電材料特性。鉭酸鋰晶體基片經(jīng)還原處理可降低其體電阻率,可改善聲表面波濾波器(SAW?filter)制造過程中因溫度差異引起熱釋電效應(yīng)產(chǎn)生的放電現(xiàn)象,并提高叉指電極線條于光刻工藝的精度,有助于提升SAW器件制作的成品率降低生產(chǎn)成本。
聲明:
“鉭酸鋰晶體基片的黑化處理方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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