一種基于軟質(zhì)磨料固著磨具的鉭酸鋰拋光方法，包括以下步驟：1)基于軟質(zhì)磨料固著磨具原料的配制；2)將配置好的配料在模具中熱壓成形，脫模后完成熱固化，并對(duì)其上下端面進(jìn)行修整，保證磨具上下端面的平整度和平行度；3)將鉭酸鋰拋光磨具安裝于拋光機(jī)的上盤(pán)，待加工的鉭酸鋰晶片放置在會(huì)旋轉(zhuǎn)的拋光機(jī)下盤(pán)，用夾具固定住，啟動(dòng)拋光機(jī)，并在上下盤(pán)之間注入堿性水基冷卻液；加工過(guò)程中氧化劑、磨粒和鉭酸鋰晶片發(fā)生固相反應(yīng)，在鉭酸鋰晶片表面形成一層軟質(zhì)的、易去除的反應(yīng)生成物，利用磨料與生成物層之間的摩擦作用將生成物層去除，從而實(shí)現(xiàn)鉭酸鋰晶片的拋光。本發(fā)明能夠提高鉭酸鋰晶片的去除率并能降低粗糙度，提高加工效率、降低生產(chǎn)成本。