一種全固態(tài)薄膜
鋰電池及其制備方法,屬于鋰離子電池技術(shù)領(lǐng)域。全固態(tài)薄膜鋰電池的制備方法,包括:依次進(jìn)行的薄膜基板的供給操作和對(duì)薄膜基板的濺射操作。其中,薄膜基板的供給操作和濺射操作包括:在同時(shí)存在第一電子集流體靶材、第一電極靶材、鋰鑭鋯鉭氧靶材以及第二電極靶材的第一真空環(huán)境中,通過(guò)磁控濺射的方式在襯底基片上依次沉積形成疊層設(shè)置的第一電子集流體薄膜、第一電極薄膜、鋰鑭鋯鉭氧薄膜以及第二電極薄膜。利用該制備方法,能夠解決鋰鑭鋯鉭氧薄膜與電極薄膜之間固?固界面接觸較差的問(wèn)題,并且能夠通過(guò)原位生長(zhǎng)制備出厚度可控的致密薄膜材料,以提高制備得到的全固態(tài)薄膜鋰電池的穩(wěn)定性和
電化學(xué)性能。
聲明:
“全固態(tài)薄膜鋰電池及其制備方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)