本發(fā)明提供了一種利用激光直寫晶化二氧化鈦溶膠薄膜制備鈮酸鋰光波導(dǎo)的方法。包括：S1：以鈮酸鋰為襯底，利用溶膠凝膠法和旋涂技術(shù)在鈮酸鋰襯底上制備二氧化鈦溶膠薄膜；S2：通過激光直寫技術(shù)使二氧化鈦溶膠薄膜固化結(jié)晶，用丙酮去除非晶化部分，得到圖形化的多晶薄膜；S3：最后通過高溫?cái)U(kuò)散工藝制備鈮酸鋰光波導(dǎo)。本發(fā)明利用激光直寫技術(shù)與溶膠凝膠法的結(jié)合，使圖形化薄膜的制備更加靈活、方便；同時(shí)激光直寫晶化裝置配有長波長觀測光路，可以在激光晶化過程中做到實(shí)時(shí)觀測及調(diào)整；而且這種將多種技術(shù)結(jié)合的方法，在鈮酸鋰光波導(dǎo)功能器件集成領(lǐng)域具有巨大的潛力。