本發(fā)明公開了一種鈷酸鋰靶材及其制備方法,該靶材的純度大于等于99.9%、相對密度大于等于98%、平均晶粒尺寸小于等于50微米。該靶材制備方法包括以下步驟:(1)提供鈷酸鋰粉末,并將其液壓成型為坯件;(2)對所述的坯件進行冷等靜壓加工;(3)將經(jīng)過步驟(2)的坯件置于爐中進行燒結,燒結過程采用了多階段升溫加壓的方式。按照本發(fā)明方法制備的鈷酸鋰靶材,其晶粒尺寸細小且致密度高。在適當條件下,濺射這些靶材能獲得性能優(yōu)良的薄膜,從而提高全固態(tài)薄膜鋰離子電池的
儲能量和循環(huán)次數(shù)。
聲明:
“全一種鈷酸鋰靶材的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)