本發(fā)明公開(kāi)了一種適用于光纖鈮酸鋰晶片研磨的卡具,由鈮酸鋰晶片夾具和夾具座、壓板以及鎖緊螺釘組成,通過(guò)鎖緊螺釘可以調(diào)節(jié)夾具座與夾具之間的相對(duì)位置,改變夾具座與夾具之間的作用力,從而改變夾具對(duì)光纖鈮酸鋰晶片的預(yù)緊力。此外,夾具的鈮酸鋰晶片夾持處的尺寸大于夾具座容許的最大尺寸,在鈮酸鋰晶片與研磨盤(pán)接觸時(shí),研磨盤(pán)對(duì)鈮酸鋰晶片有作用力,則夾具與夾具座發(fā)生相對(duì)位移,夾具和夾具座的尺寸差使夾具通過(guò)自身的柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)發(fā)生形變,從而改變夾具作用在鈮酸鋰晶片上的夾緊力。研磨夾具包圍了光纖鈮酸鋰晶片的四個(gè)面,通過(guò)其中相對(duì)的兩個(gè)面施加力,使鈮酸鋰晶片在研磨的過(guò)程中姿態(tài)更加穩(wěn)定,更利于其他研磨參數(shù)的控制。
聲明:
“適用于光纖鈮酸鋰晶片研磨的卡具” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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