本發(fā)明涉及一種控制鐵電薄膜取向生長技術(shù)。本發(fā)明基于鈮酸鋰具有自發(fā)極化這一事實提出了用外加電場誘導(dǎo)鈮酸鋰薄膜取向生長的方法。在薄膜生長系統(tǒng)中垂直于薄膜的方向施加一個低電場,使生長中的薄膜鐵電疇沿電場方向取向排列,從而達(dá)到取向生長目的??梢杂妹}沖激光閃蒸法、化學(xué)氣相淀積、磁控濺射等多種技術(shù)實現(xiàn)這一方法。本發(fā)明施加電場和薄膜生長合二為一,兩者原位同步進(jìn)行。所需的電場可以是極低的,在10V/cm量級。
聲明:
“用電場誘導(dǎo)鈮酸鋰鐵電薄膜取向生長的方法及裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)