本發(fā)明公開一種鈮酸鋰光波導(dǎo)偏振器及制造方法,所述鈮酸鋰光波導(dǎo)偏振器包括:鈮酸鋰襯底、在所述鈮酸鋰襯底的上表面下沉形成鈦擴(kuò)散波導(dǎo)區(qū)和反質(zhì)子交換區(qū);所述鈦擴(kuò)散波導(dǎo)區(qū)和所述反質(zhì)子交換區(qū)對應(yīng)設(shè)置且連通;所述鈦擴(kuò)散波導(dǎo)區(qū)用于放置鈦擴(kuò)散波導(dǎo);所述鈦擴(kuò)散波導(dǎo)為間斷的條形鈦膜;所述反質(zhì)子交換區(qū)用于放置反質(zhì)子交換波導(dǎo)。本發(fā)明在所述鈮酸鋰襯底的上表面設(shè)置鈦擴(kuò)散波導(dǎo)區(qū)和反質(zhì)子交換區(qū);并將所述鈦擴(kuò)散波導(dǎo)區(qū)和所述反質(zhì)子交換區(qū)對應(yīng)連通設(shè)置,進(jìn)而解決退火質(zhì)子交換的模場匹配問題,減小光波導(dǎo)表面散射,降低光波導(dǎo)的傳輸損耗。
聲明:
“鈮酸鋰光波導(dǎo)偏振器及制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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