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基于X切鈮酸鋰薄膜的偏振無關(guān)反射式光濾波器

775   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 21:32:20
本發(fā)明公開了一種基于X切鈮酸鋰薄膜的偏振無關(guān)反射式光濾波器,屬于集成光器件技術(shù)領(lǐng)域。包括:襯底,其材料為硅;埋氧層,其材料為二氧化硅;鈮酸鋰脊形波導,位于埋氧層之上;周期性二氧化硅包層,覆蓋于脊波導之上。本發(fā)明在X切鈮酸鋰薄膜上加工被二氧化硅包層周期性覆蓋的布拉格光柵結(jié)構(gòu),利用鈮酸鋰的雙折射特性實現(xiàn)偏振無關(guān)的反射式光濾波器。其中周期性二氧化硅包層制備步驟具有較大的工藝容差,器件制備僅需兩次光刻、無需套刻,制備工藝簡單。該器件可以與基于薄膜鈮酸鋰材料的調(diào)制器、諧振器等結(jié)構(gòu)單片集成,構(gòu)成在光信號處理芯片,在微波光子學和光通訊等領(lǐng)域有較好的應用前景。
聲明:
“基于X切鈮酸鋰薄膜的偏振無關(guān)反射式光濾波器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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