用于制備不含磷的無(wú)定形含鋰氧化物或氧氮化物化合物的氣相沉積法包括:提供該化合物的每一組成元素的蒸氣源,該蒸氣源包括至少鋰源、氧源、氧氮化物化合物的情況下的氮源、和一個(gè)或多個(gè)玻璃形成元素源;將基材加熱到基本上180℃或更高;和從該蒸氣源將該組成元素共沉積到該加熱的基材上,其中該組成元素在該基材上反應(yīng)以形成該無(wú)定形化合物。
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“用于制備無(wú)定形含鋰化合物的氣相沉積法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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