本發(fā)明公開了一種鈮酸鋰微環(huán)與波導(dǎo)集成器件及其制備方法，利用化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)將兩片鈮酸鋰薄膜基片上的微環(huán)和波導(dǎo)分別進(jìn)行拋光減薄，再將這兩片鈮酸鋰薄膜基片對齊貼合并用膠水固化，進(jìn)而實現(xiàn)鈮酸鋰微環(huán)與波導(dǎo)集成器件。本發(fā)明基于化學(xué)機(jī)械拋光工藝的鈮酸鋰微環(huán)與波導(dǎo)集成器件具有空間形狀可任意設(shè)計、尺寸可調(diào)、穩(wěn)固集成的特點，在光信號處理、精密測量、非線性光學(xué)和量子光學(xué)等高科技領(lǐng)域具有很大應(yīng)用前景。