本發(fā)明涉及鋰電池技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種多元磁控濺射的方法及裝置、制備金屬鋰復(fù)合電極的方法、制備電極的設(shè)備。本發(fā)明的多元磁控濺射的方法及裝置、制備金屬鋰復(fù)合電極的方法、制備電極的設(shè)備可以同時進行多種靶材的濺射鍍膜，而且可以根據(jù)設(shè)定各個靶材的濺射速度來得到不同原子比例組分的薄膜，當(dāng)需要濺射獲得不同成分的薄膜時，直接替換靶材即可，流程簡單快捷，生產(chǎn)效率高，符合大規(guī)模生產(chǎn)的需求。