本申請?zhí)峁┮环N鈮酸鋰薄膜超晶格的制備方法，包括：1)制備套刻標記；2)根據(jù)套刻標記，在x切的鈮酸鋰薄膜表面制備周期性叉指電極結(jié)構(gòu)；3)在光刻好的叉指電極結(jié)構(gòu)上鍍金屬電極；4)去除光刻膠，得到周期性叉指電極；5)在一側(cè)叉指電極上接入電極正極，另一側(cè)叉指電極接地，施加電場，使得叉指電極之間疇翻轉(zhuǎn)，去除電極，得到第一周期性疇翻轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)；6)將套刻標記向右平移一個周期的距離，重復步驟2)～5)，得到第二周期性疇翻轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)；7)重復執(zhí)行步驟6)，直至得到的所有疇翻轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)之間的間距相等，完成制備。采用前述的方案，采用多次套刻，多次電場極化，在x切的鈮酸鋰薄膜表面制備周期性的電極，制備出疇壁與z軸垂直的疇結(jié)構(gòu)。