本發(fā)明提供一種鈮酸鋰晶體化學(xué)機(jī)械拋光液，屬于精密/超精密加工技術(shù)領(lǐng)域。鈮酸鋰化學(xué)機(jī)械拋光液的pH為9.5?10，包含溶質(zhì)和溶劑兩部分。其中，溶劑為去離子水。按溶質(zhì)總質(zhì)量分?jǐn)?shù)100％計(jì)，其各組分和質(zhì)量百分比含量如下：10～20wt％硅溶膠，1～2wt％氫氧化鉀，0.02～0.05wt％表面活性劑，其余為pH調(diào)節(jié)劑，各物質(zhì)在去離子水中通過超聲混合均勻。本發(fā)明提供的化學(xué)機(jī)械拋光液腐蝕作用適中，在保證拋光液化學(xué)作用前提下，能夠獲得超光滑、無損傷的鈮酸鋰表面；氧化石墨烯可以促使工件表層氧化并形成軟化層，加快工件表面的拋光效率，縮短拋光時(shí)間。