本實用新型涉及一種直線型補鋰設(shè)備,包括補鋰腔室及設(shè)于其內(nèi)的放卷裝置、收卷裝置、至少兩個靶材安裝機構(gòu)組及基片加熱機構(gòu);放卷裝置、收卷裝置用于對待補鋰的基片放卷、收卷;至少兩個靶材安裝機構(gòu)組用于安裝補鋰的靶材且設(shè)于放卷裝置與收卷裝置之間,至少兩個靶材安裝機構(gòu)組分別用于與放卷裝置與收卷裝置之間的基片的兩個側(cè)表面對應(yīng)設(shè)置;各組內(nèi)的靶材安裝機構(gòu)的數(shù)量均為多個,且同一組內(nèi)的多個靶材安裝機構(gòu)在自放卷裝置至收卷裝置的方向上依次呈直線分布;基片加熱機構(gòu)包括加熱安裝機構(gòu)及設(shè)于加熱安裝機構(gòu)上的加熱片,加熱安裝機構(gòu)設(shè)于各組內(nèi)的相鄰兩個靶材安裝機構(gòu)之間,加熱片用于對放卷裝置與收卷裝置之間的基片加熱。
聲明:
“直線型補鋰設(shè)備” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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