本發(fā)明公開了一種高性能鋰離子電池三維多孔薄膜硅基負(fù)極材料及其制備方法。本發(fā)明采用具有三維多孔集流體材料，如銅箔網(wǎng)、銅絲網(wǎng)、泡沫銅或泡沫鎳；以磁控濺射方法在銅箔網(wǎng)、銅絲網(wǎng)、泡沫銅或泡沫鎳上形成一層硅薄膜或硅-金屬復(fù)合薄膜，然后通過熱處理方式形成三維多孔薄膜硅基負(fù)極材料。本發(fā)明中，三維多孔結(jié)構(gòu)、硅-金屬合金的形成及薄膜負(fù)極材料與三維多孔集流體之間良好的結(jié)合力，使得多孔薄膜硅基負(fù)極材料制備得到的電池具有較高的放電比容量、首次充放電效率和良好的循環(huán)性能。本發(fā)明方法操作簡單，在鋰離子電池負(fù)極領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。