本發(fā)明公開了一種鋰離子電池硅碳負極材料及其制備工藝和設(shè)備，負極材料包括基材和沉積在基材表面的納米硅，所述基材為碳材料，所述納米硅通過等離子增強化學(xué)氣相沉積工藝沉積在基材表面，所述等離子增強化學(xué)氣相沉積工藝過程中，基材在沉積區(qū)為流態(tài)化運動狀態(tài)，所述等離子增強化學(xué)氣相沉積工藝在流態(tài)化等離子氣相沉積爐內(nèi)進行，所述流態(tài)化等離子氣相沉積爐內(nèi)設(shè)有正極板和負極板，所述正極板和負極板之間為沉積區(qū)，所述基材在負極板的振動作用下在沉積區(qū)作流態(tài)化運動。本發(fā)明通過基材在沉積過程的流態(tài)化流動，確保納米硅均勻且牢固的分布在碳材料上，解決了納米硅因游離而抱團的問題，將其作為鋰離子電池負極材料可以有效提高電池的工作性能。