本發(fā)明涉及一種p型透明導(dǎo)電摻鋰氧化鎳薄膜及其制備方法。本發(fā)明首先采用化學(xué)純氧化鎳和碳酸鋰的混合粉末，經(jīng)過研磨、壓片、固相反應(yīng)、燒結(jié)過程制備出LixNi1-xO陶瓷靶材；然后以普通玻璃為基板，利用LixNi1-xO陶瓷靶，通過電子束蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)，在適當(dāng)?shù)碾娮邮鳌⒄舭l(fā)高壓、蒸發(fā)壓強(qiáng)、蒸發(fā)時(shí)間以及后退火處理溫度的條件下制備了具有p型透明導(dǎo)電的LixNi1-xO薄膜。所制備的薄膜具有高電導(dǎo)率、可見光范圍內(nèi)相對較高的透射率等優(yōu)良光電特性。本發(fā)明方法獲得的p型透明導(dǎo)電氧化物薄膜在透明電子學(xué)領(lǐng)域具有較好的應(yīng)用前景。