本發(fā)明公開了一種薄膜鈮酸鋰基異構(gòu)集成微波光子收發(fā)芯片，屬于集成微波光子技術(shù)領(lǐng)域，該芯片主要包括射頻轉(zhuǎn)換開關(guān)、低噪聲放大器電路、功率放大器電路、激光器、電光調(diào)制器、光電探測(cè)器、光路轉(zhuǎn)換開關(guān)和光延時(shí)器，實(shí)現(xiàn)了射頻收發(fā)前端、電光/光電轉(zhuǎn)換與光延時(shí)芯片的異構(gòu)集成；各光芯片之間通過薄膜鈮酸鋰基光波導(dǎo)連接，光芯片與微波芯片之間通過金屬凸點(diǎn)鍵合及通孔互連等工藝實(shí)現(xiàn)三維異構(gòu)集成。該芯片可以實(shí)現(xiàn)基于光子技術(shù)的微波收發(fā)與波束控制功能，且具有小型化、集成度高、性能穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)，滿足微波光子雷達(dá)系統(tǒng)收發(fā)前端大規(guī)模陣列化應(yīng)用需求。