本申請公開了一種六氟磷酸鋰制備過程中廢氣的處理裝置和方法，該方法，依次包括步驟：s1、通過冷凝方式分離廢氣中的氟化氫；s2、廢氣中氯化氫通過水進行吸收。廢氣處理裝置包括：冷媒換熱器，具有一廢氣入口和一廢氣出口，該廢氣入口連通于廢氣輸送管道；水洗塔，連通于所述冷媒換熱器的廢氣出口。本發(fā)明通過兩步法對廢氣進行處理，首先采用冷凝手段對廢氣中份氟化氫進行分離，分離后的氟化氫可以作為原料重復使用；其次采用水吸收方式吸收氯化氫并形成鹽酸，獲得的鹽酸可以重復利用。