鉭酸鋰單晶體襯底是具有36°Y?49°Y切向的晶體取向的旋轉(zhuǎn)Y切向LiTaO
3單晶體襯底,其特征在于:所述襯底從其表面向其一定深度中用Li擴(kuò)散,使得所述襯底具有展示出在所述襯底表面與所述襯底的所述深度之間的Li濃度差異的Li濃度分布;并且所述襯底以單偏振處理進(jìn)行處理,因此所述Li濃度從所述襯底表面到相當(dāng)于在LiTaO
3襯底表面中傳播的表面聲波或泄漏表面聲波的波長的5?15倍的深度是大致上一致的。
聲明:
“鉭酸鋰單晶體襯底、粘結(jié)襯底、粘結(jié)襯底的制造方法、和使用粘結(jié)襯底的表面聲波器件” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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