本實用新型公開了一種鉭酸鋰晶體基片的黑化處理裝置,包括熱處理爐、電控箱、支撐座,所述支撐座內(nèi)設(shè)置有還原氣體存儲罐,所述還原氣體存儲罐一端設(shè)置有進氣管,所述還原氣體存儲罐另外一端設(shè)置有出氣管,所述進氣管外側(cè)設(shè)置有調(diào)速閥,所述進氣管一端設(shè)置有所述熱處理爐,所述熱處理爐上方設(shè)置有
真空泵,所述熱處理爐一端設(shè)置有爐門,所述熱處理爐另外一端設(shè)置有所述出氣管,所述熱處理爐內(nèi)部設(shè)置有壓強傳感器,所述壓強傳感器一側(cè)設(shè)置有溫度檢測器,所述溫度檢測器下方設(shè)置有坩堝,所述坩堝內(nèi)設(shè)置有金屬片。有益效果在于:本實用新型結(jié)構(gòu)簡單,操作方便,能夠自動調(diào)節(jié)保持爐內(nèi)溫度,控制精度高,還原氣體循環(huán)使用,節(jié)約了成本。
聲明:
“鉭酸鋰晶體基片的黑化處理裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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