一種鋰離子電池負(fù)極集流體材料,包括金屬銅箔,金屬銅箔表面覆有碳化硅層,碳化硅層厚度是0.003-0.009mm。采用物理氣相沉積方法中的射頻磁控濺射工藝制備材料,其工藝條件為:以碳化硅為濺射靶,金屬銅箔為濺射基材,通入氬氣,射頻電源頻率為30-50MHz,加速電壓為300-500V,磁場(chǎng)為50-200G,氣壓為1-5mTorr,電流密度為30-50mA/cm,功率密度為20-40W/cm,濺射靶與基材之間的距離為50-100mm,基材的速度為20-30m/min。
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“鋰離子電池負(fù)極集流體材料及制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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