一種鋰電用二氧化鈦納米管陣列固載硅
負極材料的制備方法,屬于
新能源材料領域。熱處理后的二氧化鈦納米管陣列作為基體,經過抽真空、加熱、預濺射、濺射后,冷卻至40~80℃取出,其中濺射為:打開射頻電源濺射硅;濺射過程中基體加熱,完成后冷卻至40~80℃后取出樣品。將其作為負極載體材料,采用磁控濺射技術將硅濺射到二氧化鈦納米管薄膜表面和內部,沉積效率高,方法簡便,重復性好。
聲明:
“鋰電用二氧化鈦納米管陣列固載硅負極材料的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)