一種形成薄膜電池的系統(tǒng)和方法,包括:基板;集流體形成于所述基板上;陰極層形成于部分所述第一集流體上;固態(tài)電解質(zhì)材料層形成于所述陰極層上;硅-金屬薄膜陽(yáng)極層形成于所述固態(tài)電解質(zhì)材料層上;以及第二集流體電性耦合于所述硅-金屬薄膜陽(yáng)極層。也公開(kāi)一種形成所述薄膜電池的方法和系統(tǒng)。
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