本發(fā)明提供一種無機(jī)全固態(tài)電致變色元件及其制備方法，該元件的結(jié)構(gòu)為：在摻錫氧化銦玻璃基片上依次沉積的氧化鎢薄膜、偏硼酸鋰和硫酸鋰混合物薄膜、鎳氧化物薄膜、摻錫氧化銦薄膜；其制備方法的步驟如下：將摻錫氧化銦導(dǎo)電玻璃切割出適合儀器設(shè)備大小的基片，并依次在丙酮、無水乙醇、去離子水中超聲清洗；將裝有基片的多靶磁控濺射裝置的濺射成膜腔抽真空到1×10－4Pa；然后依次沉積氧化鎢薄膜、偏硼酸鋰和硫酸鋰混合薄膜、鎳氧化物薄膜、摻錫氧化銦薄膜。依本發(fā)明方法制備的電致變色元件具有改變可見光透射率的性能，并且具有調(diào)制范圍大，反應(yīng)時(shí)間短等特點(diǎn)，在變色玻璃，防眩反光鏡，信息顯示屏幕、促進(jìn)節(jié)能窗的研究和應(yīng)用等方面具有很大的價(jià)值。