本發(fā)明公開(kāi)了一種用于鋰離子電池的納米復(fù)合薄膜負(fù)極材料及其制備方法。該材料是由過(guò)渡族金屬氧化物Fe2O3和過(guò)渡金屬Fe構(gòu)成的納米復(fù)合物，可以通過(guò)磁控濺射儀制備獲得，F(xiàn)e2O3和Fe納米復(fù)合物的平均粒徑小于20nm。薄膜電極容比容量隨過(guò)渡族金屬含量不同在630?1170mAh/g范圍內(nèi)變化，在反復(fù)放電過(guò)程中呈良好的穩(wěn)定性。該種薄膜電極材料化學(xué)性穩(wěn)定性好、比容量高、倍率性能優(yōu)異，制備方法簡(jiǎn)單，可重復(fù)強(qiáng)，可適用于高性能鋰離電池負(fù)極，尤其是全固態(tài)薄膜鋰離子電池。