本發(fā)明提供了一種高能量太赫茲脈沖產(chǎn)生裝置，包括：光柵、半波片、光束整形單元、成像單元和鈮酸鋰晶體；利用泵浦飛秒激光照射所述光束整形單元，將所述泵浦飛秒激光的光束截面形狀由圓形變?yōu)闄E圓形；整形后的泵浦飛秒激光通過所述光柵衍射至所述半波片上，經(jīng)過所述半波片改變所述整形后的泵浦飛秒激光的偏振方向后，再通過所述成像單元后入射至所述鈮酸鋰晶體上。太赫茲脈沖產(chǎn)生裝置中的光束整形單元，可以使照射在鈮酸鋰晶體上的光斑為橢圓形，使高能量、大光斑的飛秒激光光斑盡量靠近鈮酸鋰晶體的62度角或63度角的切割邊沿，最大限度的減少遠(yuǎn)離鈮酸鋰晶體切割邊沿的位置產(chǎn)生的太赫茲脈沖在鈮酸鋰晶體內(nèi)的傳輸損失。