本發(fā)明公開了一種高分辨率高透光度半導(dǎo)體用3D打印式正性光刻膠,其通過以下方法制備:采用
稀土物質(zhì)、鈦源、可溶性鎂鹽、可溶性鋰鹽、甲基丙烯酸酯單體等為原料,通過高溫水熱反應(yīng)制得鈦酸鎂鋰改性甲基丙烯酸酯單體;然后將其參通過自由基聚合反應(yīng),合成制得以鈦酸鎂鋰膠體粒子為“錨點(diǎn)”的高度支化的改性丙烯酸樹脂;之后將改性丙烯酸樹脂、產(chǎn)酸劑、助劑等充分分散均質(zhì),即制得流動(dòng)性好、聚合度高、抗蝕刻性能優(yōu)異的光刻膠成品。該光刻膠屬于化學(xué)放大類,其在193nm深紫外光源下感光性能強(qiáng),靈敏度好,分辨率達(dá)到0.09~0.11μm,光刻綜合性能達(dá)到國際最先進(jìn)水平,應(yīng)用前景極為廣闊。
聲明:
“高分辨率高透光度半導(dǎo)體用3D打印式正性光刻膠” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)