亚洲欧美国产精品粉嫩|亚洲精品精品无码专区|国产在线无码精品电影网|午夜无码久久久久久国产|亚洲国产精品一区二区动图|国产在线精品一区在线观看|欧美伊人久久久久久久久影院|中文字幕日韩av在线一区二区

合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術(shù)頻道 >

> 加工技術(shù)

> 高分辨率高透光度半導(dǎo)體用3D打印式正性光刻膠

高分辨率高透光度半導(dǎo)體用3D打印式正性光刻膠

1022   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 23:20:26
本發(fā)明公開了一種高分辨率高透光度半導(dǎo)體用3D打印式正性光刻膠,其通過以下方法制備:采用稀土物質(zhì)、鈦源、可溶性鎂鹽、可溶性鋰鹽、甲基丙烯酸酯單體等為原料,通過高溫水熱反應(yīng)制得鈦酸鎂鋰改性甲基丙烯酸酯單體;然后將其參通過自由基聚合反應(yīng),合成制得以鈦酸鎂鋰膠體粒子為“錨點(diǎn)”的高度支化的改性丙烯酸樹脂;之后將改性丙烯酸樹脂、產(chǎn)酸劑、助劑等充分分散均質(zhì),即制得流動(dòng)性好、聚合度高、抗蝕刻性能優(yōu)異的光刻膠成品。該光刻膠屬于化學(xué)放大類,其在193nm深紫外光源下感光性能強(qiáng),靈敏度好,分辨率達(dá)到0.09~0.11μm,光刻綜合性能達(dá)到國際最先進(jìn)水平,應(yīng)用前景極為廣闊。
聲明:
“高分辨率高透光度半導(dǎo)體用3D打印式正性光刻膠” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
分享 0
         
舉報(bào) 0
收藏 0
反對 0
點(diǎn)贊 0
標(biāo)簽:
加工技術(shù)
全國熱門有色金屬技術(shù)推薦
展開更多 +

 

中冶有色技術(shù)平臺

最新更新技術(shù)

報(bào)名參會
更多+

報(bào)告下載

第二屆中國微細(xì)粒礦物選礦技術(shù)大會
推廣

熱門技術(shù)
更多+

衡水宏運(yùn)壓濾機(jī)有限公司
宣傳
環(huán)磨科技控股(集團(tuán))有限公司
宣傳

發(fā)布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記