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多孔硅的強流脈沖電子束制備方法及應用

983 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-18 23:22:11

本發(fā)明屬于材料制備領域，具體涉及一種多孔硅的強流脈沖電子束制備方法及應用。本發(fā)明首先對單晶硅片進行前處理，將單晶硅片置于強流脈沖電子束工作臺上，啟動強流脈沖電子束設備，對設備進行抽真空后，設定加速電壓15?25KV，能量密度2.0?3.0J/cm2，脈沖次數(shù)5?30次，最終獲得經(jīng)強流脈沖的不同孔徑的多孔硅材料。本發(fā)明整個制備工藝操作簡單、制得的多孔硅疏松多孔且大小均勻，具有較好的比表面積，單晶硅片用于鋰離子電池后，電池容量有很大的提高，循環(huán)性能優(yōu)良。

聲明：

“多孔硅的強流脈沖電子束制備方法及應用” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)