一種單分散、小尺寸的二氧化硅納米粒子的制備方法，屬于納米粒子制備技術(shù)領(lǐng)域。其是在醇、水溶劑體系中，加入烷基硅酸酯、一水合氫氧化鋰和其它堿性化合物，氫氧化鋰與其他堿性化合物的質(zhì)量用量比為1：0～650；然后在20～50℃、100～500rpm攪拌條件下，反應(yīng)1～8小時；反應(yīng)結(jié)束后將反應(yīng)溶液離心去上清，離心產(chǎn)物先水洗1～2遍，再用與前面所使用的相同醇溶劑洗2～3遍，之后在50～80℃下將產(chǎn)物烘干，從而得到純凈的單分散、小尺寸(3～200nm)的二氧化硅粒子。本發(fā)明制備二氧化硅納米粒子由一步原位生長，不需多步注入硅源或額外引入種子等方法，更無需引入其他雜質(zhì)(如陽離子、陰離子、中性等各種表面活性劑)，因此，該制備方法更為簡單、產(chǎn)物更容易純化。