本發(fā)明公開了半導體級四(甲乙氨基)鋯的制備方法,在惰性氣氛保護下,在反應器中加入甲乙胺和烴類溶劑,然后向體系中加入有機鋰化合物,制得甲乙胺基鋰;向體系中加入四氯化鋯;反應結(jié)束后進行過濾以及蒸餾,得到四(甲乙氨基)鋯;四(甲乙氨基)鋯經(jīng)過提純、吸附和過濾,得到高純半導體級四(甲乙氨基)鋯產(chǎn)品。不需要任何醚類溶劑,只需要單一的烴類溶劑即可,降低了合成成本和反應的毒性,具有更好的操作性,其產(chǎn)率較高,易于規(guī)?;纳a(chǎn);經(jīng)過純化、吸附、過濾等步驟,最終使產(chǎn)品的純度、顆粒度均較好滿足半導體行業(yè)的產(chǎn)品要求。
聲明:
“半導體級四(甲乙氨基)鋯的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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