本發(fā)明公開了一種無腐蝕性的LiF清洗劑,該清洗劑是由無機堿、螯合劑、有機助劑、表面活性劑及高純水組成。本發(fā)明通過特定的乙二醇基曼尼希堿表面活性劑與無機強堿混配,能提高對鋰鹽的溶解度,有效解決現(xiàn)有OLED掩膜版及坩堝清洗效率低、對鋰鹽溶解性差及易造成腐蝕等問題,且其易清洗無殘留,具有良好應用前景。
聲明:
“無腐蝕性的LiF清洗劑及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)