目的:提供包括腔部但壓電膜不易發(fā)生破裂的彈性波器件。解決方案:彈性波器件(1)包括由鈮酸鋰或鉭酸鋰制成的壓電膜(2),以及在與壓電膜(2)的厚度方向相交的方向上彼此面對的第一電極指(3)和第二電極指(4)。當(dāng)壓電膜(2)的平均厚度為d,并且第一電極指(3)和第二電極指(4)的中心之間的距離為p時,d/p約為0.5或更小。第一電極指(3)和第二電極指(4)分別連接到第一母線(5)和第二母線(6)。第一母線(5)和第二母線(6)包括角部。當(dāng)在俯視圖中觀察時,第一母線(5)和第二母線(6)的角部(5e)至(5h)和(6e)至(6h)中的至少一個角部在腔部(9)的外側(cè)。
聲明:
“彈性波器件和梯形濾波器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)