本發(fā)明公開(kāi)了一種飛秒紫外光激光器，上述飛秒紫外光激光器由光連接的種子源、脈沖展寬器、光放大器、脈沖壓縮模塊及三倍頻模塊組成；所述種子源為全光纖被動(dòng)鎖模種子源或固體鎖模種子源；所述脈沖展寬器為全光纖展寬器或空間光展寬器；所述光放大器為光連接的多級(jí)光放大器；所述脈沖壓縮模塊為棱鏡對(duì)或光柵對(duì)或啁啾體布拉格光柵(CVBG)；所述三倍頻模塊依次包括1/2波片、偏振分光棱鏡、凸透鏡、凹透鏡、二倍頻晶體、三倍頻晶體、吸光塊和紫外窗片。二倍頻晶體為一類(lèi)相位匹配的三硼酸鋰(LBO)晶體，三倍頻晶體為二類(lèi)相位匹配的三硼酸鋰(LBO)晶體，且三倍頻晶體后表面不鍍膜并切紫外光布魯斯特角θ_B1，二倍頻晶體前表面不鍍膜并切紅外光布魯斯特角θ_B2。按照本發(fā)明實(shí)現(xiàn)的飛秒紫外光激光器，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單穩(wěn)定，壽命長(zhǎng)，適合產(chǎn)生高功率飛秒紫外光。