本發(fā)明公開了一種利用非水解溶膠?凝膠工藝在SiC基底上制備ZrSiO4薄膜的方法,該方法分別以正丙醇鋯和正硅酸乙酯為鋯源和硅源,正丙醇為溶劑,氟化鋰為礦化劑,添加無水檸檬酸以及合適的表面活性劑制得鍍膜用的ZrSiO4溶膠,再將溶膠加熱預處理,采用浸漬?提拉法并優(yōu)選鍍膜工藝參數(shù)在SiC基底上制得均勻致密的ZrSiO4薄膜。本發(fā)明具有工藝簡單、成膜質(zhì)量好等突出優(yōu)點。
聲明:
“利用非水解溶膠?凝膠工藝在SiC基底上制備ZrSiO4薄膜的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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