本發(fā)明的沉積源在真空中被電子束加熱,使沉積材料蒸發(fā)或升華,在移動(dòng)的基板的表面上通過(guò)共沉積形成包含鋰的化合物膜,所述沉積源包括:具備冷卻部的爐缸內(nèi)襯;以及收納在所述爐缸內(nèi)襯中且內(nèi)部被放入所述沉積材料的多個(gè)內(nèi)襯。
聲明:
“沉積源及沉積裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)