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傳感器單元及氣密性檢查裝置

810 編輯：管理員來源：中冶有色技術網

2023-03-19 00:19:44

在真空室(14)內容納檢查對象的鋰離子電池(11)。在真空室(14)的上部連接有初始排氣配管(47)和檢查排氣配管(51)。經由初始排氣配管(47)對真空室(14)內進行初始排氣而降低至檢查壓力(Pe)。之后，經由檢查排氣配管(51)進行檢查排氣。在檢查排氣配管(51)的中途連接有傳感器單元(16)。穿過檢查排氣配管(51)的排氣氣體從流入口向傳感器單元(16)的內部流入，通過設置于內部的噴嘴朝向氣體傳感器的傳感面垂直地流動。排氣氣體穿過氣體傳感器的內部而從排出口向傳感器單元(16)的外部排出。

聲明：

“傳感器單元及氣密性檢查裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)