本發(fā)明公開一種復(fù)合型石墨烯氣凝膠刻蝕的制備裝置及采用該裝置的復(fù)合型石墨烯氣凝膠刻蝕的生產(chǎn)工藝，屬于石墨烯生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域；所述刻蝕裝置，是專為刻蝕復(fù)合型石墨烯氣凝膠而設(shè)計制造，PET石墨烯氣凝膠膜是專為超級電容電池或其它鋰離子電池提供容液膜。PET石墨烯氣凝膠膜的厚度是3.5?600微米之間，根據(jù)超級電容電池器的特性選用不同直徑的特選幾種硅藻顆粒。硅藻在地球上大約有11000多種，我公司利用特種粘合劑將硅藻顆粒平植到PET膜上，再進(jìn)行CVD法將碳元素沉集到PET膜上的硅藻顆粒所特有的結(jié)構(gòu)中，經(jīng)特殊排列控制技術(shù)后再經(jīng)范德華利凝結(jié)成復(fù)合型石墨烯氣凝膠，再進(jìn)行刻蝕后而形成PET石墨烯氣凝膠膜。