本發(fā)明提供了一種復(fù)合型二氧化鈦薄膜及其制備方法與應(yīng)用。所述復(fù)合型二氧化鈦薄膜的制備方法包括的步驟有:將二氧化鈦靶材和能量密度貢獻(xiàn)主體元素靶材在惰性氣氛下進(jìn)行共濺射處理,在基體上生長復(fù)合型二氧化鈦薄膜。本發(fā)明復(fù)合型二氧化鈦薄膜的制備方法將二氧化鈦靶材和能量密度貢獻(xiàn)主體元素靶材直接采用共濺射法沉積形成。使得生長的復(fù)合型二氧化鈦薄膜具有界面電阻小的特性,而且可以減少和阻止電解液與能量密度貢獻(xiàn)主體之間的不可逆副反應(yīng),減少固體電解質(zhì)膜(SEI)的產(chǎn)生,減輕周期性體積變化的應(yīng)力,保持鋰離子嵌入/脫出過程中的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性。另外,所述制備方法有效保證生長的復(fù)合型二氧化鈦薄膜化學(xué)性能穩(wěn)定。
聲明:
“復(fù)合型二氧化鈦薄膜及其制備方法與應(yīng)用” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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