本發(fā)明提供了一種應(yīng)用于電子及半導(dǎo)體領(lǐng)域中超高純?nèi)嵝蕴沾衫w維和薄膜制備技術(shù)，通過選擇和控制金屬有機類預(yù)聚合物分子結(jié)構(gòu)、元素組成的、純度、液體固化方式、成型技術(shù)及陶瓷化工藝等，制備生產(chǎn)出柔性陶瓷材料，并且控制微量污染元素如Al、Fe、B、P、Pt、Ca、Mg、Li、Na、Ni、V、Ti、Ce、Cr、S和As等雜質(zhì)總含量低于10ppm，從而制備出具有5個9、6個9或更高純度的電子、半導(dǎo)體級柔性陶瓷類材料的生產(chǎn)技術(shù)，并且所制備的相關(guān)陶瓷材料能夠滿足應(yīng)用于半導(dǎo)體器件中作熱控材料如散熱、導(dǎo)熱膜、電磁屏蔽和吸波材料、各種鋰電池隔離膜、儲能電池電極膜、氫能源中氣體純化過濾膜、催化劑載體等系列特殊要求的領(lǐng)域。