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光學波導裝置和制造光學波導裝置的方法

677   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 00:29:14
光學波導裝置和制造光學波導裝置的方法。光學波導裝置具有:基板,層疊在基板上的中間層、包含X切割的鈮酸鋰的薄膜LN層和緩沖層,以及在薄膜LN層中形成的具有脊形形狀的光學波導。光學波導裝置包括分別設(shè)置在光學波導的第一側(cè)和第二側(cè)處的多個電極。電極被設(shè)置為使得其相應(yīng)底表面處于比緩沖層的表面的位置低的位置處。
聲明:
“光學波導裝置和制造光學波導裝置的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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