光學波導裝置和制造光學波導裝置的方法。光學波導裝置具有:基板,層疊在基板上的中間層、包含X切割的鈮酸鋰的薄膜LN層和緩沖層,以及在薄膜LN層中形成的具有脊形形狀的光學波導。光學波導裝置包括分別設(shè)置在光學波導的第一側(cè)和第二側(cè)處的多個電極。電極被設(shè)置為使得其相應(yīng)底表面處于比緩沖層的表面的位置低的位置處。
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