將通過碳酸亞乙酯與元素氟的氟化作用所得到的、含有按重量計不大于5％的HF的粗碳酸氟代亞乙酯通過至少兩個隨后的蒸餾步驟來進行純化。若希望的話，在進行蒸餾之前，可以在一個初步的HF去除步驟中例如通過汽提來去除大部分的HF。此外，若希望的話，可以通過使該粗混合物或第一蒸餾步驟之后所獲得的餾出物與一種HF吸附劑(例如硅膠)相接觸來進行一個第二HF去除步驟。所述蒸餾可以是分批地進行的。優(yōu)選連續(xù)進行蒸餾。它產(chǎn)出了具有的HF含量等于或小于30ppm的純化的碳酸氟代亞乙酯。這種純化的碳酸氟代亞乙酯可以作為溶劑添加劑應(yīng)用于鋰離子電池。