本發(fā)明涉及一種三(二烷胺基)環(huán)戊二烯基金屬配合物的合成方法,所述三(二烷胺基)環(huán)戊二烯基金屬配合物的合成方法,包括如下步驟:(1)將化合物1與MCl4進(jìn)行反應(yīng),制備化合物2;(2)將化合物2與HNR1R2進(jìn)行反應(yīng),制備化合物3;(3)將化合物3與化合物4進(jìn)行反應(yīng),制備所述三(二烷胺基)環(huán)戊二烯基金屬配合物。上述合成方法通過(guò)合理設(shè)置各反應(yīng)步驟,能夠有效提升合成的收率,且原料安全易得,避免使用丁基鋰,既大大提高反應(yīng)的安全系數(shù),又避免在反應(yīng)中引入雜質(zhì)金屬,便于產(chǎn)物的純化,能夠滿足半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對(duì)其前驅(qū)體源純度的要求。同時(shí)操作簡(jiǎn)單,無(wú)需對(duì)中間體進(jìn)行分離,路線綠色環(huán)保,適合工業(yè)化放大生產(chǎn)。
聲明:
“三(二烷胺基)環(huán)戊二烯基金屬配合物的合成方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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