本實用新型公開了一種能夠同時實現(xiàn)高溫度穩(wěn)定性和高頻的聲表面波濾波器,結構包括壓電基片、輸入叉指換能器、輸出叉指換能器和波導層,輸入叉指換能器和輸出叉指換能器設于適合高頻、正溫度穩(wěn)定性的切向是(0、47.3、90)的四硼酸鋰材料的壓電基片表面,在壓電基片、輸入叉指換能器和輸出叉指換能器上覆蓋一層與壓電基片溫度互補的材料的波導層。輸入叉指換能器利用壓電效應,在壓電基片中激發(fā)聲波完成電聲轉換。輸出叉指換能器利用逆壓電效應,接收聲波,完成聲電轉換。通過本實用新型從濾波器結構方面的改進,通過控制ZnO的厚度改善樂甫波濾波器的溫度穩(wěn)定性,結合LBO的傳播速度高的特點,實現(xiàn)高頻濾波器。
聲明:
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