本發(fā)明涉及一種光致抗蝕劑顯影廢水的處理方法,其使用RO裝置,無(wú)須用堿劑來(lái)中和RO透過(guò)水,可防止或者抑制因粘泥引起的RO膜的阻塞,且可獲得良好水質(zhì)的RO膜透過(guò)水。其無(wú)須對(duì)光致抗蝕劑顯影廢水進(jìn)行pH值調(diào)整,在與陽(yáng)離子交換樹(shù)脂接觸后,通過(guò)MF膜裝置等進(jìn)行除濁處理,接著向逆滲透膜裝置通水,獲得膜透過(guò)水。
聲明:
“光致抗蝕劑顯影廢水的處理方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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