一種新穎及改進(jìn)的廢水處理系統(tǒng),適用于處理CMP制程的廢水與BG廢水及/或BW廢水。一暫存槽接收來自CMP制程的廢水,一暫存槽接收來自BG制程的廢水,一暫存槽接收來自BW的廢水,另一收集槽接收來自CMP(chemical mechanical polish)暫存槽廢水與背面研磨(backside grinding,BG)暫存槽的廢水。一反應(yīng)槽接收來自收集槽的廢水及BW(back wash)的廢水,一凝結(jié)用帶正電荷的高分子助凝劑在反應(yīng)槽中與研漿粒子結(jié)合,使研漿粒子從溶液中沉淀析出。一或一對(duì)沉降槽接收來自反應(yīng)槽的廢水,且與帶負(fù)電荷的高分子聚合物結(jié)合的研漿粒子在沉降槽中從廢水中分離出來。一放流槽接收來自沉降槽凈化后的廢水,此凈化后的廢水可用輸送泵送至一儲(chǔ)存槽,例如一回收水(RCW)槽,用于例如廢氣洗滌裝置的清潔制程。
聲明:
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