本實(shí)用新型公開了一種可將超純水生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢水回收再利用的廢水回收設(shè)備，其結(jié)構(gòu)包括：廢水回收水箱、低壓水泵、過濾器、高壓水泵和反滲透水處理系統(tǒng)，廢水回收水箱的出水口通過管路、以及設(shè)置在該管路上的低壓水泵與所述過濾器的輸入口相連，所述過濾器的輸出口通過管路、以及設(shè)置在該管路上的高壓水泵與所述的反滲透水處理系統(tǒng)的輸入口相連，反滲透水處理系統(tǒng)還設(shè)置有達(dá)標(biāo)水出口、未達(dá)標(biāo)水出口和濃縮廢水排放口，反滲透水處理系統(tǒng)在達(dá)標(biāo)水出口處設(shè)置有電導(dǎo)測(cè)試探頭，反滲透水處理系統(tǒng)的未達(dá)標(biāo)水出口與所述的廢水回收水箱相連通。通過該設(shè)備使超純水系統(tǒng)中產(chǎn)生的廢水，再次回收，使水質(zhì)達(dá)到原水要求，具有節(jié)能環(huán)保及降低成本的特點(diǎn)。